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质量流量控制器

简要描述:

MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量,控制器是基于业内先进的微机电(MEMS)流量芯片技术,结合高速采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的气体控制器产品,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。

产品型号:MFC-100

更新时间:2022-08-09

访问次数:286

厂商性质:生产厂家

产品简介

       MFC-100 质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密控制和测量, MFC-100 型质量流量控制器是基于业内先进的微机电(MEMS)流量芯片技术,结合高速 采样处理技术和数字补偿算法,所开发的一款智能化、高精度可进行准确的质量流量控制的 气体控制器产品,具有精度高、响应速度快、稳定性好等特点。产品支持数字型和 模拟型两种,模拟型产品采用 0~5V 模拟信号输入输出,数字型产品采用 RS485 通讯。

产品特点 

精度高,响应快

长期稳定性,良好的重复性

温度压力影响小

兼容多种信号输出方式

 

技术参数 

参数名称 技术指标 

量程 (0~10,20,50,100,200,500) sccm (0~1,2,5,10,20,50) SLM 

阀控类型 常闭 

准确度 ≤±1% F.S. 

重复性 <0.5% 

工作压差 (0.1~0.4)MPa 

温漂 <0.05%F.S./℃ 

环境温湿度 5~40℃,0~90RH% 

耐压 1MPa 

输入信号 (0~5)VDC,RS485 

输出信号 (0~5)VDC,RS485 

气路接口 G1/4 -1/4 (SLM);G1/4 -1/8 (SCCM) 

供电电压 DC24V 

功耗 <2.4w 

尺寸 长*宽*高:80mm*36mm*57mm 


产品应用

半导体集成电路工艺、特种材料 

化学工业、石油工业 

医药、环保和真空等领域 

分析检测仪器行业

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